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六氟化硫分解產物專用氦離子化氣相色譜儀 GC-9560-HG
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產物種類檢測范圍(μmol/mol產物種類檢測范圍(μmol/mol
H20.05-10000C3F80.05-10000
O20.05-10000SO2F20.1-10000
N20.05-10000SOF20.1-10000
CH40.05-10000SO20.1-10000
CF40.05-10000H2S0.1-10000
CO0.05-10000COS0.1-10000
CO20.05-10000CS20.1-10000
C2F60.05-10000NF30.05-10000
N2O0.05-10000


2、技術性能:

3、溫控指標:

4、其他參數:尺寸、重量、電源


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